185光刻机终成

会议结束后，张冲志来到余向东经理的办公室，余向东惊喜的问张冲志：“张总监真能生产反射镜片？它的难度太大了！”

张冲志说：“5纳米的反射境片我在春节后就造好了，等我再精磨以下，让公司镀上钼和硅反射膜就可以使用了。

不过对于钼硅反射膜我可以再优化一下，可以减少10%的对极紫外光线的吸收，这样我们研发的二氧化碳激光光源，只要能达到110W功率，就绰绰有余了！这样还可以节约三分之一的光源制造成本。”

余向东一下抱住他说：“你真是神人也！夏盛要为你记一大功！国家要给你记一大功！那我们为什么不全部生产2纳米光刻机？”

张冲志说：“主要是那两台光刻机已达不到2纳米的要求了，再者我们的XS9000芯片性能优异，还不到淘状的时候。

我们2纳米的芯片是一枚核弹，只有关键时刻将它点燃才能发挥巨大的作用，这里面不仅有经济作用，更有政治作用！这事你有时间向尹总说一说，我这就去忙了。”

说完转身向往就走，就知他刚一出门，就被笑眯眯的尹总堵住了。

张冲志忙叫：“尹总好！你怎么来了？”

尹总边推着他重新进屋，边说道:“你是不是对小娜做了什么事，想躲我是不？回来也不向我汇报情况。”

张冲志马上一头黑线，他忙说：“尹总我只是替你去看了一下小娜，她很好，将你的问候送到我就走了。”

尹总满脸不信，他说：“小娜三天前回来了，一见我别的不问先打听你的事，而且不停将你的名字挂在嘴边，说你如何厉害。

我这七八十岁老头子的身体一点也不关心一下，想来我就气，正好找你问问。你老实交待，不可隐瞒！”

嘴角抽了两抽，尊重长辈是轩辕美德，张冲志只好将大体的经过又说了一遍，尹总听完点了点头，这才放过他。

余向东和张冲志又将刚才的话向尹总汇报了一遍，让尹总非常高兴：“我们夏为这架破机器已经快完全修复好了，当换上心脏(芯片)时，一定窜的更高，一览众山小的感觉令人期待啊！”

张冲志将优化好的技术拿了出来，绕过专利壁垒，就带领攻关小组开始工作。

反射镜的镜面加工精度要求是0.3纳米，而一个原子的大小接近0.1纳米，也就是说加工层要在三到四层原子之内。

现在真没有什么机械的加工精度达到这样的精度，利用精密机械加工到一定精度后，可以再利用精磨人工打磨，不过失败率很高，因此一年兰斯麦超浸润光刻机只能生产几十台，这个难度实在是高。

据说兰斯麦的镜片生产公司是蔡司公司，而蔡司生产镜片的人是一个家族，三代都靠这门手艺吃饭，他们吃完饭后的工作就是磨各种镜面。

这个工作对张冲志来说虽说有点难度，但还在他的控制精度之内。

另外他还有黑星，黑星利用探索丝可以上下左右每时每刻测绘镜面的尺寸。

现在世界上最高的测绘记录是由长岛国的冷冻电镜创造的，可以达到0.02纳米的尺度。

现在黑星的探索丝通过这台冷冻电子通道显微镜的校准，测量精度已在0.01纳米，这一精度与原子核尺寸相比还差的远，还有三个数量级。

而且黑星可以通过立体放大，将三十厘米大小的镜面放大到上千平方米大小，张冲志相信可以通过黑星，通过一定的练习，精准控制自己的力度。

他全身机能所能达到的准确率是蔡司公司老师傅的十倍以上，足可生产出更精密的镜片。

由于张冲志的神经反应速度超过人类的40倍，这让他的手法快速，他与黑星待在一个密闭的恒温恒湿无尘的千平大房间内，用了一天的时间。

最后完成了十五套165块5纳米光刻机所用的镜片，也就是布拉格反射器，当然也出了五套废品。

这套加工手法与超级福岗的光感器加工工艺差不多。

而2纳米以后的超级浸润式设备与5纳米的不一样，5纳米是采用NA=0.33的曝光设备。

2纳米需要高解析度的曝光设备，更高的NA化，即NA=0.55（NA是数值孔径，与最大的临界角度有关）。

张冲志又利用一晚上的时间生产了十二套2纳米反射镜片，不过合格的只有七套，废了五套，对于一般人来说，可能合格率达不到百分之一。

NA=0.55的曝光设备，兰斯麦已有设计，不过技术要求太高，需要几年后才能生产出来，张冲志只是将它优化了一下，直接拿来用了，还美其名曰先用先得。

第二天，张冲志就先拿了两套报废的镜片，让攻关小组进行镀钼硅膜实验，测试能够达到的效果。

这种膜经过改良后，真将光能的吸吸率降低了10%，让攻关小组一阵欢腾，因为这可是与奖金挂勾的。

利用两天时间将15套5纳米镜片镀好膜，又用一天时间将7套2纳米光刻机用镜片也镀好膜，就开始了超浸润设备的全机体制造。

张冲志边制作边指导说解，这些人是他培养的高端光刻机装配人员，为以后大批量生产高端光刻机做准备，当然好让自己偷懒！

他自己动手装配了一套5纳米光刻机，一套2纳米光刻机，第三套就交给工作人员装配去了，他在旁边指导。

只要镜片不毁，其它各种角度的微调让装配人员去摸索吧！

时间又过去了三天，8月14日，张冲志带领光刻机工作团队进行最后的安装调试，所有设备都检查了一遍，各部门都报告没有问题。

张冲志让人打开电源，一盏盏指示灯亮起，主控计算机开始检索，计算机装载鸿盛天机自动控制系统，所有页面都是玄语，让人一看就明白，当然是学玄语的人。

计算机检测完成，发出了让所有人都高兴的“滴”的一声，真是声音清晰响亮，是天籁之音。

接下来就是进行一项项测试；双工作台、测量台、曝光台等运转正常，极紫外激光器发光正常，超浸润系统工作正常。

光束矫正器工作正常，光束形状设置正常，掩膜台工作正常，物镜工作正常……

13个分项，数万个零件，重达五百吨的工业明珠运行正常！

接着开始整体空载运行，正常后开始正式加工，也叫载物运行。

就见一张18英寸，直径450mm的单晶硅硅圆被放在了双工作台上，接着开始硅片表面清洗、烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序，这个过程需经过多次。

一张越复杂的芯片，它的线路层数越多，越需要精密复杂，越繁锁的曝光控制过程。

当一张450毫米直径的晶圆上布满了密密规则的芯片，终于出现在众人的手上时，许多人都喜极而泣。

张冲志的眼中也贮满泪花，终于，终于，夏盛麒麟公司生产出了高精度的超浸润光刻机，轩辕无高端“芯片”的历史一去不复返了！

尹总和余向东，王守柱、王媛四人带着两张密布芯片的硅圆芯盘，直奔京都而去。

张冲志坚决不去，太麻烦了！

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